Home > 产品／解决方案 > 半导体曝光装置

半导体曝光装置

ArF液浸式扫描光刻机

NSR-S635E

NSR-S635E leaflet (416KB)

NSR-S622D

NSR-S622D leaflet (468KB)

ArF扫描光刻机

NSR-S322F

NSR-S322F leaflet (472KB)

KrF扫描光刻机

NSR-S220D

NSR-S220D leaflet (472KB)

i线步进式扫描光刻机

NSR-SF155

NSR-SF155 leaflet (328KB)

对准站

锐布 Litho Booster

锐布 Litho Booster leaflet (1.07MB)

检测・检查装置

自动宏观检测装置 AMI-5600/3500/3000 MarkⅡ

AMI-5600/3500/3000 MarkⅡ leaflet (372KB)

晶圆检测装置 OPTISTATION-3200/3100/3000

OPTISTATION-3200/3100/3000 leaflet (396KB)

图像传感器检查用照明装置 N-SIS9/8

N-SIS9/8 leaflet (352KB)

Home > 产品／解决方案 > 半导体曝光装置