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半导体曝光装置

ArF液浸式扫描光刻机

NSR-S635E

NSR-S635E leaflet (240KB)

NSR-S622D

NSR-S622D leaflet (579KB)

ArF扫描光刻机

NSR-S322F

NSR-S322F leaflet (554KB)

KrF扫描光刻机

NSR-S220D

NSR-S220D leaflet (592KB)

i线步进式扫描光刻机

NSR-SF155

NSR-SF155 leaflet (293KB)

对准站

锐布 Litho Booster

锐布 Litho Booster leaflet (1.1MB)

检测・检查装置

自动宏观检测装置 AMI-5600/3500/3000 MarkⅡ

AMI-5600/3500/3000 MarkⅡ leaflet (372KB)

晶圆检测装置 OPTISTATION-3200/3100/3000

OPTISTATION-3200/3100/3000 leaflet (320KB)

图像传感器检查用照明装置 N-SIS9/8

N-SIS9/8 leaflet (288KB)

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