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包括从半导体和高分辨率平板显示器的曝光设备,到各种光学电子零部件的计量仪器,以及多种光学玻璃和光学材料等。
用于大尺寸电视、高精密智能手机制造
用于处理器、内存等先进设备制造
实现高速、高精度晶片检测,大幅提高曝光精度
用于测量测密零部件的尺寸及形状
自动测量精密零部件的尺寸及形状
对内部及外部进行非破坏性检查和测量
利用高光学性能进行各种观察
半导体晶片以及外观的自动检查,影像传感器检测用照明
以0.01微米为单位测量零部件的厚度
用于高像素大型线阵感应相机
测量回转变位量绝对值的传感器
高透明度、高均匀性光学玻璃
光学零部件(光源和投影透镜等)和材料(合成石英玻璃和氟化钙等)
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