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半导体、电子

包括从半导体和高分辨率平板显示器的曝光装置,到各种光学电子零部件的计量仪器,以及多种光学玻璃和光学材料等。

设备制造 FPD曝光装置 FPD曝光装置

用于大尺寸电视、高精密智能手机制造

设备制造 半导体曝光装置 半导体曝光装置

用于处理器、内存等先进设备制造

设备制造 MEMS光刻机 MEMS光刻机(English)

用于生产MEMS,LED等

测量 / 检查 / 分析 定位装置“Litho booster” 定位装置“Litho booster”

实现高速、高精度晶片检测,大幅提高曝光精度

测量 / 检查 / 分析 Measuring Instruments 测量仪

用于测量测密零部件的尺寸及形状

测量 / 检查 / 分析 CNC影像测量系统 CNC影像测量系统

自动测量精密零部件的尺寸及形状

测量 / 检查 / 分析 光干渉顕微鏡システム 光干涉显微镜系统

通过光干涉测评被测物表面状态

测量 / 检查 / 分析 3D Metrology Systems 3D测量仪

通过非接触方式以三维取点来进行高精度测量

测量 / 检查 / 分析 X射线/CT工业检查装置 X射线/CT工业检查装置

对内部及外部进行非破坏性检查和测量

测量 / 检查 / 分析 工业显微镜 工业显微镜

利用高光学性能进行各种观察

测量 / 检查 / 分析 嵌入式显微镜 嵌入式显微镜(English)

内置组件,用于生产线上的图像观察

测量 / 检查 / 分析 半导体检查装置、晶片传输器 半导体检查装置、晶片传输器

半导体晶片以及外观的自动检查

测量 / 检查 / 分析 高度计“Digimicro” 高度计 “Digimicro” (English)

以0.01微米为单位测量零部件的厚度

零部件、元件 工业用镜头 工业用镜头(English)

用于高像素大型线阵感应相机

零部件、元件 绝对值编码器 绝对值编码器(English)

测量回转变位量绝对值的传感器

零部件、元件 一般光学镜片 一般光学镜片(English)

高透明度、高均匀性光学玻璃

零部件、元件 High-performance Optical Materials 光学材料(English)

提供石英玻璃、萤石等光学零部件,以及测量服务

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