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半导体、电子

包括从半导体和高分辨率平板显示器的曝光装置,到各种光学电子零部件的计量仪器,以及多种光学玻璃和光学材料等。

设备制造
FPD曝光装置
FPD曝光装置

用于大尺寸电视、高精密智能手机制造

设备制造
半导体曝光装置
半导体曝光装置

用于处理器、内存等先进设备制造

设备制造
MEMS光刻机
MEMS光刻机(English)

用于生产MEMS,LED等

测量 / 检查 / 分析
定位装置“Litho booster”
定位装置“Litho booster”

实现高速、高精度晶片检测,大幅提高曝光精度

测量 / 检查 / 分析
Measuring Instruments
测量仪

用于测量测密零部件的尺寸及形状

测量 / 检查 / 分析
CNC影像测量系统
CNC影像测量系统

自动测量精密零部件的尺寸及形状

测量 / 检查 / 分析
光干渉顕微鏡システム
光干涉显微镜系统

通过光干涉测评被测物表面状态

测量 / 检查 / 分析
3D Metrology Systems
3D测量仪

通过非接触方式以三维取点来进行高精度测量

测量 / 检查 / 分析
X射线/CT工业检查装置
X射线/CT工业检查装置

对内部及外部进行非破坏性检查和测量

测量 / 检查 / 分析
工业显微镜
工业显微镜

利用高光学性能进行各种观察

测量 / 检查 / 分析
嵌入式显微镜
嵌入式显微镜(English)

内置组件,用于生产线上的图像观察

测量 / 检查 / 分析
半导体检查装置
半导体检查装置 (English)

半导体晶片以及外观的自动检查

测量 / 检查 / 分析
高度计“Digimicro”
高度计 “Digimicro” (English)

以0.01微米为单位测量零部件的厚度

零部件、元件
工业用镜头
工业用镜头(English)

用于高像素大型线阵感应相机

零部件、元件
绝对值编码器
绝对值编码器(English)

测量回转变位量绝对值的传感器

零部件、元件
一般光学镜片
一般光学镜片(English)

高透明度、高均匀性光学玻璃

零部件、元件
光学零部件和材料
光学零部件和材料(English)

光学零部件(光源和投影透镜等)和材料(合成石英玻璃和氟化钙等)

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